Вибрация двигателя Короллы, что можно сделать?

Двигатель 4а-fe, пробег 220 тыс. км. В последний год стала заметна мелкая вибрация на холостом ходу, причём на разных оборотах- на холодном и на прогретом двигателе. Обороты холостoго хода на прогретом двигателе- 6-6,5 тыс. Типули делаю регулярно. Бензин- только на официальных заправках. Тесты по выхлопу машина проходит легко (тьфу-тьфу). Пытался бороться с вибрацией: капельницей Vinn's, заменой подушек двигателя, чисткой инжекторов. Не помогло! Что делать?